日本thermocera小型立式實驗堆

產(chǎn)品名稱: 日本thermocera小型立式實驗堆

產(chǎn)品型號: TVF-110

產(chǎn)品特點: 日本thermocera小型立式實驗堆
手動提升立式實驗爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手動控制）適用于管式爐，擴散爐，熱CVD。
主要用途
小樣本基礎(chǔ)實驗在大學(xué)/公司實驗室中的使用
半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實驗：用于氧化擴散爐，LPCVD等的簡單熱處理實驗。

日本thermocera小型立式實驗堆 的詳細介紹

日本thermocera小型立式實驗堆

手動提升立式實驗爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手動控制）適用于管式爐，擴散爐，熱CVD。
主要用途
小樣本基礎(chǔ)實驗在大學(xué)/公司實驗室中的使用
半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實驗：用于氧化擴散爐，LPCVD等的簡單熱處理實驗。

特性

用戶友好，易于手動操作
簡單的配置非常適合基礎(chǔ)實驗應(yīng)用
我們可以提供低成本和醉低要求規(guī)格的設(shè)備。
可以根據(jù)要求添加功能，我們將每次定制。

*作為標準配置，只有爐體（包括基座和垂直升降機構(gòu)）和溫度控制單元可用。
*不包括氣體引入/排出系統(tǒng)，氣體壓力控制，冷卻水控制等。我們將根據(jù)要求添加它。

主要規(guī)格

[電爐部分]

醉高工作溫度	醉高1200℃（*加熱器溫度，正常醉高1100℃）醉高950℃（板溫）
加熱器	地暖1區(qū)1.5KW
爐	陶瓷成型品Φ290x 300L（分體式）
案件	鋁殼開合式
熱電偶	用于控制，過熱檢測：K型護套熱電偶（2對）
溫度測量用熱電偶	Φ0.65mmK線型帶絕緣管1500L
溫度控制	PID溫度控制器可控硅控制

[爐芯管/石英夾具部分]

芯管	Φ100xΦ95x 470L毫米
緩沖	234H xΦ86屏蔽x 2層
感受器	Φ86x t5毫米（帶上下桿）x 2至3步
熱電偶保護管	Φ8xΦ6x 660L毫米

[基座/底座法蘭向上/向下]

驅(qū)動系統(tǒng)	手動型（旋轉(zhuǎn)手柄）
中風(fēng)	Max300mm（基座）Max500mm（基礎(chǔ)法蘭）帶限位器，帶有任意垂直限位器