日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器

 金屬イオンの溶出汚染がないインライン型冷卻加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない 直接循環(huán)式薬液恒溫裝置。

 KELKのケミカルサーキュレータは、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液 の溫度を高精度にコントロールするもので、半導(dǎo)體製造のウェットプロセスでは欠かせ ないものとして広くご愛用をいただいてきました。近年の使用薬液の多様化、高メガ ビット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応えし、さらにニューアップしました。 （注）高溫薬液用としてはCSヒータをお奨めします。

 冷卻加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス?fàn)钐克丐蚴褂盲筏皮?、溶出金屬イオ?による汚染の心配がなく、表面保護(hù)膜も不要のため剝離による能力低下もありません。 2.ゴムOリングが直接液に觸れないシール構(gòu)造のため、酸性液、アルカリ性液など薬液毎 のシール材質(zhì)の選定が不要です。 3.電子冷熱方式のため、室溫付近の溫度コントロールに適し且つ高精度です。 4.本裝置は國際保護(hù)規(guī)格IP31に適合しています。 5.裝置には、薬液や冷卻水の漏れを検知する漏液センサ、異常溫度を検知する溫度ス イッチを內(nèi)蔵していますので、安心してご使用いただけます。 ■特

日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器