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技術(shù)文章

芯片周邊曝光的UV-LED光源

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。
不僅可以安裝在新裝置上,而且從當(dāng)前使用的UV燈光源更換也很方便。
通過(guò)搭載UV-LED,可降低耗電量、降低環(huán)境負(fù)荷、延長(zhǎng)發(fā)光源壽命,并且不需要機(jī)械相關(guān)的消耗部件,從而大大降低客戶的運(yùn)行成本

紫外線発光源紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命20000小時(shí)(推定壽命驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí))※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點(diǎn)燈累計(jì)時(shí)間
照射ON/OFF功能UV-LED的ON/OFF控制(通過(guò)遠(yuǎn)程及手動(dòng)控制點(diǎn)亮/熄滅)
光量調(diào)整機(jī)能UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20~100%
外裝材質(zhì)不銹鋼
外形寸法150毫米×200毫米×192毫米


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