日本佐藤真空satovac真空計(jì)一覧

特長(zhǎng)

當(dāng)社の真空計(jì)シリーズは、大気圧から高真空領(lǐng)域まで(101kPa～1×10^-7Pa)をカバーする豊富な機(jī)種をラインアップしており、また各アイテムごとにデジタルタイプ?アナログタイプを用意し、仕様、環(huán)境、使い勝手などに合った適の機(jī)種を選択いただけます。特にパルミル真空計(jì)は、マノメーターセンサーの採(cǎi)用により圧力変動(dòng)の激しい用途でも信頼性が高く長(zhǎng)壽命であり、従來(lái)ピラニでは正確な測(cè)定が不可能とされていた、133.3Pa～大気圧までの減圧領(lǐng)域での高精度な圧力測(cè)定を初めて可能としました。さらに、これと表示器を共有し、デジタルピラニ真空計(jì)として畫(huà)期的な低コストを?qū)g現(xiàn)したPVD-9500-7型など、ユニークな機(jī)種もラインアップし、他社に無(wú)い構(gòu)成と幅広い選択肢を提供するものとなっております。

真空計(jì)一覧

寸法表 単位：mm

主な真空計(jì)の動(dòng)作圧力範(fàn)囲

真空計(jì)の選び方

真空度測(cè)定と一口にいっても、大気圧に近いところもあれば超高真空もあり、とても一種類(lèi)の真空計(jì)ではカバーしきれなくなっています。殘留ガスの成分を考えてみても真空裝置內(nèi)の気體は様々です。そのうちで真空計(jì)に悪影響を與える代表的なものは、油蒸気などの有機(jī)物蒸気、酸素、水蒸気などです。低真空では空気が殘留していることも多いのですが、中真空や高真空では油蒸気の割合が増してきます。また、凍結(jié)乾燥のように主として水蒸気を扱う真空裝置も少なくありません。このように真空計(jì)が使用される條件は様々ですから、選定にあたっては測(cè)定圧力領(lǐng)域、対象ガスの他にも、以下のような各項(xiàng)目の確認(rèn)が必要です。1. 測(cè)定をおこないたい圧力領(lǐng)域で使えるか、可測(cè)限界の起る原因を確認(rèn)する。2. 測(cè)定対象に考えられる気體によって真空計(jì)が汚損、破損しないか。 3. 精度は充分にあるか。メーターは大きいか。原理的にも問(wèn)題がないか。4. 真空計(jì)が気體の狀態(tài)に影響を與えないか。測(cè)定対象の気體を熱分解したり、反応によって組成を変えたりすることはないか。5. 全圧測(cè)定ができるか。感度が気體の種類(lèi)によって異ならないか。6. 連続指示か、電気的指示か。電気的出力が得られるか。7. 応答時(shí)間は短いか。8. 安定性、再現(xiàn)性、信頼性、壽命は十分か。9. 取付、操作、保守、管理は容易か。10. 市販品の有無(wú)、入手の難易、価格等。

真空度標(biāo)準(zhǔn)とトレーサビリティー

真空度校正裝置RT-8SV型

日本の真空度標(biāo)準(zhǔn)(1次標(biāo)準(zhǔn)) は、産業(yè)技術(shù)総合研究所に設(shè)置してある光波干渉式標(biāo)準(zhǔn)気圧計(jì)( 大気圧～10²Pa、不確かさ±0.7Pa)、同電子技術(shù)総合研究所に設(shè)置してある標(biāo)準(zhǔn)マクラウド真空計(jì)(1.3～1.3×10^-2Pa、不確かさ± 2％）が基準(zhǔn)になっています。標(biāo)準(zhǔn)マクラウド真空計(jì)による校正は、日本真空協(xié)會(huì)から依頼された副標(biāo)準(zhǔn)電離真空計(jì)用球VS-1 について実施されており、この校正された真空計(jì)は2次標(biāo)準(zhǔn)( 使用圧力範(fàn)囲2.7×10^-1～1.3×10^-4Pa、不確かさ±3％) と呼ばれ利用可能なも信頼できる真空計(jì)です。通常はこれを標(biāo)準(zhǔn)として用い、他の実用真空計(jì)の校正に用います。校正法については、JISZ8750 に詳しく説明され、10^-2Pa～10^-7Pa 付近までの用途には、メーカーがVS-1を用いて校正したB-A真空計(jì)を市販しています。このような方法で感度を校正すれば、実際に用いる個(gè)々の真空計(jì)の感度は、國(guó)家1次標(biāo)準(zhǔn)までつながることになります。このような體系ができているとき、トレーサビリティーが確立されていると評(píng)価されます。